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美國ZYGO PTI250激光干涉儀

PTI 250 是一套穩(wěn)定且易于使用的干涉儀,可以提供透鏡和透鏡系統(tǒng)的3維表面形態(tài)面和波陣圖及透鏡曲率半徑與檢測。根據(jù)不同的應(yīng)用需求PTI 250系列分為:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250VPTI 250FTM。

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當產(chǎn)量提高與性能需求的問題同時出現(xiàn)時,透鏡表面和透鏡半徑制作從而變得越來越關(guān)鍵和困難。用于DVD播放機、手機、CD ROM、內(nèi)窺鏡、數(shù)碼相機和其他高產(chǎn)量產(chǎn)品所需的光學(xué)元件需求量正快速增長,同時所要求的性能規(guī)格也越來越嚴格。然而,這些產(chǎn)品越來越輕薄短小,所以在每一道生產(chǎn)工序上也就越來越不易控制其性能。在光學(xué)性能檢測上所遭遇了挑戰(zhàn),其中包括:光學(xué)表面形態(tài)、光學(xué)表面半徑、球面鏡和非球面鏡的發(fā)射波陣,以及多透鏡光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)性能檢測;制造商也遇到了必須解決影響產(chǎn)品質(zhì)量下降的一系列問題,例如發(fā)生過度或欠缺拋光、光學(xué)模具損耗、材質(zhì)變動與組裝公差等等問題。


PTI 250 是一套穩(wěn)定且易于使用的干涉儀,可以提供透鏡和透鏡系統(tǒng)的3維表面形態(tài)面和波陣圖及透鏡曲率半徑與檢測。根據(jù)不同的應(yīng)用需求PTI 250系列分為:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250VPTI 250FTM。這是一套小型干涉儀系統(tǒng),其與ZYGO公司所制造的干涉儀(也是世界標準)一致。PTI 250 是純正的ZYGO干涉儀,同時還提供易于使用和可靠的測量方法且有很好的投資報酬率,極適合高產(chǎn)量生產(chǎn)控制,同時也可作為科研人員研發(fā)使用。



在使用時有如下特性

      ?   25mm孔徑干涉儀附帶涵蓋許多應(yīng)用范圍的系列光學(xué)配件
      ?   操作方便且快速的干涉條紋對準系統(tǒng)手動孔徑調(diào)焦降低邊緣衍射并加強性能
      ?   Z軸手動粗調(diào)300mm與微調(diào)30mm直接與世界標準的ZYGO GPI 及VeriFire 干涉儀進行校準
      ?   配有高精度、高可靠度且易于使用的溫控半導(dǎo)體激光器
      ?   可選用垂直、水平或向上方式的測試座提供未來產(chǎn)品升級需要與附件使用
      ?   根據(jù)不同的應(yīng)用需求PTI 250系列分為:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250V


美國ZYGO PTI 250激光干涉儀

圖示:美國ZYGO PTI 250激光干涉儀


規(guī)格


PTI 250RS

      ?   具備研究用干涉儀所需要的高功能性及靈活性。 
      ?   在2秒內(nèi),可產(chǎn)生多于300,000個像素的定量三維圖。 
      ?   位相測量干涉儀,精度大于λ/100。 
      ?   采用FlashPhase數(shù)據(jù)采集方法,在不穩(wěn)定及有振動的環(huán)境下仍能測量
      ?   采用標準的Zygo MetroPro界面――干涉檢測的國際標準。 
      ?   可測曲率半徑 (選用)。

  

PTI 250P

      ?   生產(chǎn)用位相調(diào)制干涉儀。 
      ?   可產(chǎn)生多于300,000個像素的定量表面形態(tài)圖。 
      ?   位相測量干涉儀,精度大于λ/100。 
      ?   采用MetroPro軟件,多語言支持的操作界面。 
      ?   可測曲率半徑 (選用)。

PTI 250F

      ?   經(jīng)濟實用的生產(chǎn)用位相調(diào)制干涉儀。 
      ?   采用FlashPhase數(shù)據(jù)采集方法可在干擾較大的生產(chǎn)環(huán)境下進行可靠測量。 
      ?   可產(chǎn)生多于300,000 個像素的定量表面形態(tài)圖。 
      ?   采用FlashPhase作位相測量。 
      ?   采用標準的Zygo MetroPro 軟件,多語言支持的操作界面。 
      ?   可測曲率半徑 (選用)。


PTI 250V

      ?   生產(chǎn)用快速檢測干涉儀。 
      ?   目測條紋方式,檢測產(chǎn)品。 
      ?   可測曲率半徑 (選用)。 
      ?   可升級到PTI 250F 和PTI 250P 。


主要技術(shù)參數(shù)

儀器類型 
具有相位測量功能的小型Fizeau 型生產(chǎn)用干涉儀。
數(shù)據(jù)采集 
FlashPhaseeTM
應(yīng)用范圍
小球面和平面檢測。表面狀態(tài)的定量測量,傳輸波陣面測量及半徑測量。測量方向 垂直向下測量。
測試光源 
Class I級 655 nm 半導(dǎo)體激光
測試光直徑
 25 mm
CCD采集
 640 x 480 
像素調(diào)焦范圍
 ±250 mm 手動可調(diào)
調(diào)準方式
 配合集成型LCD雙光點對準
觀察方式
 計算機實時圖像顯示
計算機 
高性能個人電腦,硬盤、 CD-ROM 和17"顯示器
軟件
Microsoft Windows XP專業(yè)版下的ZYGOPTI 250 軟件
電源 
100 - 240 VAC, 50/60 Hz
尺寸與重量尺寸(高x 寬x長) 
686 x 203 x 356 (mm)
重量
 33 kg
性能參數(shù)測量不確定度1 

平面測試: λ/20

球面測試: λ/10RMS 

重復(fù)性2
λ/2000 (1σ)RMS 
精度3 
λ/500 (1σ)
環(huán)境要求溫度 
15°C - 35°C (60°F - 95°F)
溫差變化
 <1.0°C / 15 min
濕度
相對濕度10% - 95% , 無凝結(jié)
防震
 無需特別防震
語言
 英語,德語,日語,簡體中文,繁體中文

1 測量精度取決于:傳輸面鏡頭精度、光學(xué)系統(tǒng)和成像系統(tǒng)的幾何形變、檢測時所用條紋的多少。當用7 條或更少的條紋評測時,PTI可以達到λ/20 以上。
2 重復(fù)性指每10 個測量序列平均值相比的相同性,每個測量序列包含16 次測量,其數(shù)值定義為1σ。
3 精度指:10個測量序列的平均值減去參考值。每個測量序列包含16個數(shù)據(jù),參考值是指10次測量的點-點平均值。
4 標準鏡頭通過卡座固定到干涉儀下面。



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